SMAGIC.
最高精度直齿产品,研磨级齿面精度(Ra ≤ 0.8 μm),适用于半导体制造设备、晶圆检测平台及精密光学仪器坐标台等超精密定位系统。支持多段高精度拼接。
精度等级
| 项目 | 参数详情 |
|---|---|
| 精度等级 | JIS N1 / JIS N2(ISO 1328 Grade 4-5 同级) |
| 材料 | S45C 碳钢 / SCM440 合金钢(可选) |
| 硬度 | HRC 50-55°(SCM440)或 HRC 48-52°(S45C) |
| 模数范围 | M0.8 – M3.0 |
| 压力角 | 20° |
| 螺旋角 | 0°(直齿) |
| 齿形标准 | 渐开线 Involute(DIN 3962 / ISO 1328 Grade 4-5) |
| 表面处理 | 精密成型磨削,Ra ≤ 0.8 μm |
| 长度规格 | 标准长度:250mm – 2000mm;支持多段拼接 |
| 安装方式 | 高精度定位销孔 + 安装螺孔,确保拼接精度 |
| 应用场景 | 半导体制造设备、晶圆检测平台、精密光学仪器坐标台 |